石墨熱場(chǎng)是一種以石墨材料為核心部件的高溫加熱系統(tǒng)，其工作原理基于石墨的導(dǎo)電性、耐高溫性及化學(xué)穩(wěn)定性，通過電阻加熱實(shí)現(xiàn)熱能的高效傳遞與控。核心工作原理：電阻加熱與熱能傳遞電流導(dǎo)入與電阻發(fā)熱石墨熱場(chǎng)通過電極導(dǎo)入強(qiáng)大電流，石墨材料作為電阻體，電流通過時(shí)產(chǎn)生焦耳熱，使石墨迅速升溫至所需工作溫度（通常達(dá)2000℃以上）。石墨的導(dǎo)電性僅次于金屬，但電阻率適中，既能高效發(fā)熱又避免能量過度損耗。

熱場(chǎng)溫度控制溫度均勻性：通過優(yōu)化石墨加熱器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（如螺旋形、波紋形），結(jié)合多層石墨保溫氈的隔熱作用，減少熱量向外輻射，確保熱場(chǎng)內(nèi)溫度分布均勻（溫差≤±1℃）。精準(zhǔn)調(diào)控：采用智能溫控系統(tǒng)，根據(jù)工藝需求設(shè)定升溫曲線，通過調(diào)節(jié)電流大小和通電時(shí)間，實(shí)現(xiàn)溫度的精確控制（如直拉單晶爐中硅料熔化需1420℃±2℃）。

熱能傳遞方式輻射傳熱：石墨在高溫下發(fā)射紅外輻射，直接加熱熱場(chǎng)內(nèi)工件（如單晶硅棒）。對(duì)流傳熱：在真空或保護(hù)氣體環(huán)境中，石墨表面與氣體分子碰撞傳遞熱量。導(dǎo)熱傳熱：石墨本身具有高導(dǎo)熱性（導(dǎo)熱系數(shù)約100-400 W/(m·K)），可快速將熱量從加熱區(qū)傳遞至工件接觸面。